AM Technology Co.,Ltd.

製品紹介

Introducing AM Technology co., Ltd., a global leader in semiconductors and precision equipment.

P&L事業部 D&G 事業部レーザー事業部

P&L事業部

[JAP] P&L사업부

Single Side Polishing Machine

特徴

◆堅牢な構造　

◆Block Index System適用

◆最適化されたDMP/CMP Software

◆5段階の圧力、速度、時間調節

◆静圧方式のFacing System適用(DMP M/C)

◆自動Pad Cleaning System適用(CMP M/C)

適用分野

◆Wafers (Si, Sic, Ceramic, GaAs, Etc)

仕様

Model			36B4R	50B4R
Ceramic Jig Size			Ø360	Ø485
Plate	Size	DMP	Ø910mm	Ø1250mm
		CMP	Ø910mm	Ø1270mm
	Material	DMP	Pure/Resin copper, Metal Tin
		CMP	Stainless Steel
Wheel Spindle	DMP		11kW	20kW
	CMP		15kW	25kW
Pressure Unit	Cylinder		4 station
Auto Facing Unit for	RPM		Min. 1mm/min~Max. 300mm/min
Dimension	DMP		1430(W) * 2340(D) * 2002(H)mm	2260(W) * 3244(D) * 2830(H)mm
	CMP		1430(W) * 1620(D) * 2162(H)mm	2120(W) * 2700(D) * 2863(H)mm
Weight	DMP		Approx. 3500kg	Approx. 7000kg
	CMP		Approx. 2500kg	Approx. 7000kg

List

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