(주)에이엠테크놀로지

모바일 메뉴

제품소개

반도체, 정밀 장비 분야의 글로벌 리더 에이엠테크놀로지(주)를 소개합니다.

P&L사업부

P&L사업부

Double Side Lapping/Polishing Machine

특징

    ◆저진동 설계

    ◆깨지기 쉽고 얇은 어플리케이션 가공에 최적화

    ◆Hydro-Static(유정압) Facing 장치 적용 - DMP

    ◆Self Re-conditioning을 통한 시간절약 - DMP

    ◆최고의 압력 분해능&실제 압력 디스플레이

    ◆최적화된 프로그램 제공

    ◆정반 냉각 시스템

적용분야

◆Wafers (Si, Sic, Ceramic, GaAs, Etc)

사양

 Model

 ADP-1605(DMP)

 ADP-1605(CMP)

Wheel Diameter

 mm

Ø1150

Ø1154

 Carrier Size

 mm

 16B 5L

 16B 5L

Max. Load Pressure 

 kgf

1000

1000

 Upper Wheel

 Drive

 kW

11

11

 Speed

rpm

40

40

 Lower Wheel

 Drive

kW

11

15

 Speed

rpm

40

40

 Inner Gear

 Drive

kW

3

 Speed

rpm

25

25

 Outer Gear

 Drive

kW

3

 Speed

rpm

13

13

 Dimension

 mm

1820*3050*2520

1820*2730*2520 

 Weight

 kg

 8000

7500 

개인정보취급방침

닫기

이메일주소무단수집거부

닫기

사이트맵

브랜드소개
제품소개
시연신청
설치후기
고객서비스
닫기