Single Side Grinding Machine

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Introducing AM Technology co., Ltd., a global leader in semiconductors and precision equipment.

P&L Division D&G Division Laser Division

P&L Division

[ENG] P&L사업부

Single Side Polishing Machine

Feature

◆Strong Structure

◆Automatic Block Index System

◆Optimized DMP/CMP Software

◆5steps control-Pressure,Speed,Time

◆Hydro-static Facing System for DMP

◆Automatic Pad Cleaning System for CMP

Applications

◆Wafers (Si, Sic, Ceramic, GaAs, Etc)

Specifications

Model			36B4R	50B4R
Ceramic Jig Size			Ø360	Ø485
Plate	Size	DMP	Ø910mm	Ø1250mm
		CMP	Ø910mm	Ø1270mm
	Material	DMP	Pure/Resin copper, Metal Tin
		CMP	Stainless Steel
Wheel Spindle	DMP		11kW	20kW
	CMP		15kW	25kW
Pressure Unit	Cylinder		4 station
Auto Facing Unit for	RPM		Min. 1mm/min~Max. 300mm/min
Dimension	DMP		1430(W) * 2340(D) * 2002(H)mm	2260(W) * 3244(D) * 2830(H)mm
	CMP		1430(W) * 1620(D) * 2162(H)mm	2120(W) * 2700(D) * 2863(H)mm
Weight	DMP		Approx. 3500kg	Approx. 7000kg
	CMP		Approx. 2500kg	Approx. 7000kg

List

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