Single Side Grinding Machine

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Introducing AM Technology co., Ltd., a global leader in semiconductors and precision equipment.

P&L Division D&G Division Laser Division

P&L Division

[ENG] P&L사업부

Double Side Lapping/Polishing Machine

Feature

◆Anti-Vibration design

◆Optimized frame for Double Side CMP

◆Hydro-Static Facing Unit for DMP

◆Self Re-conditioning to save time for DMP

◆Optimized Pressure-Control system applied

◆Optimized DMP/CMP software

Applications

◆Wafers (Si, Sic, Ceramic, GaAs, Etc)

Specifications

Model			ADP-1605(DMP)	ADP-1605(CMP)
Wheel Diameter		mm	Ø1150	Ø1154
Carrier Size		mm	16B 5L	16B 5L
Max. Load Pressure		kgf	1000	1000
Upper Wheel	Drive	kW	11	11
	Speed	rpm	40	40
Lower Wheel	Drive	kW	11	15
	Speed	rpm	40	40
Inner Gear	Drive	kW	3	3
	Speed	rpm	25	25
Outer Gear	Drive	kW	3	3
	Speed	rpm	13	13
Dimension		mm	182030502520	182027302520
Weight		kg	8000	7500

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